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能源催化ag体育研究室
先进远源等离子体镀膜技术
2023-10-31 0
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靶材均匀利用,无沟道效应,保证化学成分均匀

等离子密度高,溅射速率快,应力可调节,实现零应力成膜

柔性制造,低温高质量成膜,导向方便,可用于3D复杂衬底

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